TFX4000E——薄膜厚度测量设备
l 可量测多种材料薄膜
l 提供薄膜可靠和精确的厚度、折射率、成分比率和应力测量
l 输出产能高，具有较高的性价比
l 可量测范围更宽广，超厚膜和超薄膜量测能力更稳定
l 全新椭圆偏振光路设计
l 机械运动性能可靠，稳定性表现卓越
TFX4000i——薄膜厚度测量设备
l 可量测多种材料薄膜
l 提供薄膜可靠和精确的厚度、折射率、成分比率和应力测量
l 输出产能高，具有较高的性价比
l 可量测范围更宽广，超薄膜量测能力更稳定
l 机械运动性能可靠，稳定性表现卓越
l 功能丰富、易用的软件和算法
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TFX3000P——薄膜厚度测量设备
l 可量测多种材料薄膜
l 提供薄膜可靠和精确的厚度、折射率、成分比率和应力测量
l 低持有成本（COO），输出产能高，具有极高的性价比
l 机械运动性能可靠，稳定性表现卓越
l 功能丰富、易用的软件和算法
l 全面支持工厂自动化要求
沪公网安备 31011502016946号